? 光散射粒子計數器（用于粒徑大于或等于0.5 μm 的懸浮粒子計數）。

? 空氣中的懸浮粒子在光的照射下產生光散射現象，散射光的強度與懸浮粒子的表面積成正比。

在測試之前，要對潔凈室（區）相關參數進行預先測試，這類測試將會提供測試懸浮粒子的環境條件，這種預先測試或可包括：

a） 溫度和相對濕度的測試。潔凈室（區）的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應（無特殊要求時，溫度在18 ℃～26 ℃，相對濕度在45%～65%為宜），同時應滿足測試儀器的使用范圍；

b） 室內送風量或風速的測試，或壓差的測試；

c） 高效過濾器的泄漏測試。

? 空態，靜態和動態三種狀態均可進行測試。

? 空態或靜態測試時，室內測試人員不得多于2人。

? 測試報告中應標明測試時所采用的狀態和室內的測試人員數。

? 在空態或靜態a測試時，對單向流潔凈室（區）而言，測試宜在凈化空氣調節系統正常運行時間不少于10 min 后開始；對非單向流潔凈室（區），測試宜在凈化空氣調節系統正常運行時間不少于30 min后開始。

? 在靜態b測試時，對單向流潔凈室（區），測試宜在生產操作人員撤離現場并經過10 min自凈后開始；對非單向流潔凈室（區），測試宜在生產操作人員撤離現場并經過 20 min 自凈后開始。

? 在動態測試時，則須記錄生產開始的時間以及測試時間。

在空態或靜態測試時，懸浮粒子采樣點數目及其布置應力求均勻，并不得少于最少采樣點數目，采樣點布置規則見表1。在動態測試時，懸浮粒子采樣點數目及其布置應根據產品的生產及工藝關鍵操作區設置。

采樣點的位置應滿足以下要求∶

a） 采樣點一般在離地面0.8 m高度的水平面上均勻布置。

b）采樣點多于5點時，也可以在離地面0.8 m～1.5 m高度的區域內分層布置，但每層不少于5點。

對任何小潔凈室（區）或局部空氣凈化區域，采樣點的數目不得少于2個，總采樣次數不得少于5次。每個采樣點的采樣次數可以多于1次，且不同采樣點的采樣次數可以不同。

不同潔凈度級別每次最小的采樣量

? 對于單向流潔凈室（區），粒子計數器的采樣管口應正對氣流方向；對干非單向流潔凈室（區）， 粒子計數器的采樣管口宜向上。

? 布置采樣點時，應盡量避開回風口。

? 采樣時，測試人員應在采樣口的下風側，并盡量少活動。

? 采樣完畢后，宜對粒子計數器進行自凈。

? 應采取一切措施防止采樣過程的污染。